Particle Counter的原理 :

光學感測器是利用下列方法以進行微粒偵測：

藉由內部真空源將空氣樣品以設定好的流率吸入至樣品腔室內；利用波長為685奈米的雷射二極體以產生出具有窄光束的光線，此光線為聚焦且調準的，因此所有的空氣樣品均可穿過光束中心；光感測器的設置位置與光束之間則具有一夾角；當微粒通過光束時，光線會與該微粒反應而產生散射與反射，并使該些光線投射到光感測器上；光感測器收集該些光線后便以電流方式顯現變化；接續，電子電路在接收到來自光感測器的電流后則顯示出相對應的電壓脈沖；所述的電壓脈沖便會與預設值（校正值）進行比對，其中不同的預設值是對應不同粒徑通道；在微粒計數器中的電子元件會計算在每個比較器中的電壓脈沖以獲得具有不同粒徑的微粒量；此資訊則藉由儀器的圖形使用者介面以呈現于使用者。

與小粒徑的微粒相比，粒徑較大的微粒將相對地使發生散射的光線量變得更多。而光學微粒計數器的技術基礎是假設在任何時間下，每次都只有單一微粒通過于雷射光束。

所有TSI AeroTrak的光學微粒計數器都符合ISO 21501-4的嚴格規定：粒徑分布 – 單一粒子光反應方法系為在無塵空間中空氣微粒子計數器的光散射現象。

應用 :

使用微粒子計數器AeroTrak 9303/ AeroTrak 9310量測無塵室，可以針對環境的潔凈度現況，以及歷史趨勢變化，得到有數據化的資料參考，并且可以對照國際標準法規，例如：Fed 209E或ISO14644-1的潔凈度等級，判斷此環境的潔凈度，做為品管的依據.

另外也可以使用儀器偵測污染源的泄漏點，例如Hepa的破孔或黏合的泄漏，以及內部儀器運作時，Pump或是風扇等等，都可能產生微粒污染。

各別空間的量測潔凈度，例如無塵操作臺、密敝的光學空間、或是小型單獨的操作隔間，都可以使用微粒子計數器AeroTrak 9303/ AeroTrak 9310來量測潔凈度.